TY  - BOOK
AU  - Казаков, А.П.
AU  - Рокицкая, Я.П.
TI  - Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками
T2  - ..
VL  - Вып.1781971, Вып.3[1]
PY  - 1971///
CY  - Б. м.
ER  -