TY  - BOOK
AU  - Гаврилов, С. А.
AU  - Белов, А. Н.
AU  - Железнякова, А. В.
TI  - Лабораторный практикум по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
ER  -