TY  - BOOK
AU  - Мальцев, П. П.
TI  - Нано- и микросистемная техника
T2  - Мир электроники
VL  - 7, 19
SN  - 5-94836-063-6
PY  - 2005///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Наноструктуры
KW  - Сборники
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\66829767
KW  - Микросистемная техника
KW  - RU\NLR\auth\661410277
KW  - З844.1я43
N2  - Библиогр. в конце разд
ER  -