03154nam0a2200457 4500 RU\NLR\bibl\1843037 20260407122922.0 978-5-7692-1183-6 400 RU 2011-90074 6445 (nilc)RSL-KNO-005080951 (NLR Aleph) 001833485 2171909 2171909 20111121d2011 |||y0rusy50 ca rus RU a ||||||||| Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices [В.А. Гриценко, А.П. Елисеев, М.В. Иванов и др.] отв. ред. А. Л. Асеев, В. А. Гриценко Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова [и др.] eng Новосибирск Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад. наук 2011 157 с. ил., табл. 25 Интеграционные проекты СО РАН SB Ras Integrated Projects рекол.: акад. В.М. Фомин (гл. ред.) [и др.] вып. 31 Авт. указаны на обороте тит.л. В надзаг. также: Ин-т неорг. химии им. А.В. Николаева, Ин-т катализа им. Г.К. Борескова, Ин-т автоматики и электрометрии, Ин-т геологии и минералогии им. В.С. Соболева Библиогр. в конце гл. Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices eng Флэш-память 2552159 RU\NLR\auth\661510116 Запоминающие устройства Материалы 1100895 RU\NLR\auth\66433468 Диэлектрики Применение в микроэлектронике 2302922 RU\NLR\auth\661378659 З843.41,0 rubbk З973.2-045.2 070 ca rus Гриценко В. А. д-р физ. мат. наук, физика полупроводников Владимир Алексеевич 101051 RU\NLR\auth\77118126 Елисеев А. П. 070 070 ca rus Иванов М. В. физик 101113 RU\NLR\AUTH\77118188 340 ca rus Асеев А. Л. 1946- Александр Леонидович 101128 RU\NLR\auth\77118203 570 Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Новосибирск 417323 RU\NLR\AUTH\889960522 RU RuMoRKP 20111121 rcr RU РГБ 20111121 RU NLR 20111205 rcr BOOK NB NBR 2011-12-05 ad NLR01 NLR01 RF8 3548937 2011-7/6476 0 BOOK 201176476_ 2011-12-05 ad NLR01 NLR01 RF8 3548941 2011-7/6476 0 BOOK 201176476_