TY  - BOOK
AU  - Гриценко, В. А.
AU  - Елисеев, А. П.
AU  - Иванов, М. В.
AU  - Асеев, А. Л.
ED  - Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
TI  - Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
T2  - Интеграционные проекты СО РАН
VL  - вып. 31
SN  - 978-5-7692-1183-6
PY  - 2011///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад. наук
KW  - Флэш-память
KW  - RU\NLR\auth\661510116
KW  - Запоминающие устройства
KW  - Материалы
KW  - RU\NLR\auth\66433468
KW  - Диэлектрики
KW  - Применение в микроэлектронике
KW  - RU\NLR\auth\661378659
KW  - З843.41,0
KW  - rubbk
KW  - З973.2-045.2
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -