TY  - BOOK
AU  - Голишников, А А
AU  - Путря, М Г
TI  - Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
ER  -