TY  - BOOK
AU  - Громов, Д. Г.
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров
SN  - 978-5-7256-0648
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Металлизация
KW  - RU\NLR\auth\661473416
KW  - З844.15-060.7я73-1
N2  - Библиогр.: с. 188-201 (159 назв.)
ER  -