TY  - BOOK
AU  - Чернозубов, Ю. С.
AU  - Лемешко, Н. В.
TI  - Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭМ
ER  -