TY  - BOOK
AU  - Неволин, В. К.
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники"
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 978-5-7256-0662-1
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Наноэлектроника
KW  - Физические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661501456
KW  - Зондовая микроскопия
KW  - RU\NLR\auth\661336180
KW  - З844.1-01я73-1
KW  - В342.84я73-1
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -