TY  - BOOK
AU  - Турек, М.
AU  - Дроздель, А.
AU  - Пышняк, К.
TI  - Конструкции плазменных источников ионов для твердых тел
T2  - Препринт
VL  - Р13-2011-79
PY  - 2011///
CY  - Дубна
PB  - ОИЯИ
KW  - Ионные источники плазменные
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66497298
KW  - Ионная имплантация
KW  - Оборудование
KW  - RU\NLR\AUTH\66486020
KW  - В381.26,09
KW  - rubbk
KW  - В338.411
KW  - Ж614
N2  - Библиогр.: с. 21-22 (40 назв.)
ER  -