TY  - BOOK
AU  - Петрова, В. З.
AU  - Тельминов, А. И.
AU  - Шутова, Р. Ф.
TI  - Материалы и технология толстых пленок
SN  - 5-7256-0156-0
PY  - 1997///
CY  - М.
PB  - МИЭТ
KW  - Толстые пленки
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - RU\NLR\auth\66154723
KW  - Учебные издания для высшей школы
KW  - З844.15я73-1
N2  - Библиогр.: с. 256-258
ER  -