TY  - BOOK
AU  - Brablec, A.
AU  - Buchta, J.
AU  - Buršíková, V.
AU  - Protasevič, E. T.
TI  - Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application
PY  - 2002///
CY  - Tomsk
PB  - S.n.
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение из плазмы
KW  - RU\NLR\AUTH\66891033
KW  - З844.13-060.7
KW  - З843.08
N2  - Библиогр. в конце глав
ER  -