TY - BOOK AU - Канева, И. И. AU - Подгорная, С. В. AU - Андреев, В. Г. TI - Технология микро- и наноэлектроники. Технология материалов магнитоэлектроники. лабораторный практикум PY - 2011/// CY - Москва PB - МИСиС ER -