TY  - BOOK
AU  - Филимонов, В. Е.
AU  - Сушенцов, Н. И.
TI  - Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники
SN  - 9785815808676
PY  - 2011///
CY  - Йошкар-Ола
PB  - МарГТУ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Подложки
KW  - Обработка
KW  - RU\NLR\auth\66795590
KW  - химическое травление
KW  - З844.1-060.14я73-1
KW  - rubbk
KW  - З844.15-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.)
ER  -