TY  - BOOK
AU  - Gornev, E. S.
AU  - Novikov, Ju. A.
AU  - Rakov, A. V.
AU  - Volk, C. P.
TI  - Geometric characteristics of the SEM electron probe
T2  - Препринт
VL  - 5
PY  - 2002///
CY  - M.
PB  - S.n.
KW  - Электронная микроскопия сканирующая
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661387738
KW  - В338.48
N2  - Библиогр. в конце кн. (47 назв.)
ER  -