TY  - BOOK
AU  - Герловин, И. Я.
ED  - Санкт-Петербургский государственный университет
TI  - Технологии эпитаксиального выращивания полупроводниковых гетероструктур
SN  - 5-98340-030-4
PY  - 2005///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - [б.и.]
KW  - Гетероэпитаксиальные пленки
KW  - Учебно-методические пособия для высших учебных заведений
KW  - Получение
KW  - RU\NLR\auth\661321150
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - Выращивание
KW  - RU\NLR\auth\66889960
KW  - З843.310.8-1я73-2
ER  -