TY  - BOOK
TI  - Вакуумно-плазменные процессы и оборудование
SN  - 9785725606300
PY  - 2011///
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Вакуумное оборудование
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661304632
KW  - З86-06-5я73-1
N2  - Библиогр.: с. 164 (14 назв.)
ER  -