TY  - BOOK
AU  - Прохоров, Ю.И.
AU  - Ирошников, Ю.П.
TI  - Лучистый инфракрасный нагрев в полупроводниковом и микроэлектронном производстве
T2  - ..
VL  - Вып.1561973, №9
PY  - 1973///
CY  - Б. м.
ER  -