TY  - BOOK
AU  - Митасов, В.И.
AU  - Еремеевский, В.И.
TI  - Оптимизация технологического процесса производства микроэлектронных схем
T2  - ..
VL  - Вып.2961975, Вып.3
PY  - 1975///
CY  - Б. м.
ER  -