TY  - BOOK
AU  - Перов, Г.В.
AU  - Ульев, М.А.
TI  - Особенности технологии формирования и электрофизические свойства изолирующих слоев в микросхемах памяти с поликремневым затвором
T2  - ..
VL  - Вып.10471984, Вып.4
PY  - 1984///
CY  - Б. м.
ER  -