01741nam2a22002891 4500 RU\NLR\INFOCOMM55\1000056512 20250617112126.0 (NLR Aleph) 002571096 3190239 3190239 20040528d1984 |||y0rusy50 ca rus RU y ||||||||| Ион литография, особенности и перспективы развития Ю.С. Боков, А.Н. Шокин 1984 Б. м. ... Вып.1067 ... 1984, Вып.6 001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712 2001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.1067 3197280 М. 1968- М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" Обзоры по электронной технике Вып.1067 001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056438 2001#$aОбзоры по электронной технике$iСерия Микроэлектроника$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1984, Вып.6 3189602 М. 1970- М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" Серия Микроэлектроника Обзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике 1984, Вып.6 Боков Ю.С. 070 Шокин А.Н. 070 RU InfoComm 20040528 RU NLR PSBO NLR П51/94 ISSUE NB RUSPER