TY  - BOOK
AU  - Бакун, А.В.
AU  - Щеглова, В.В.
TI  - Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов
T2  - ..
VL  - Вып.2031974, Вып.5
PY  - 1974///
CY  - Б. м.
ER  -