TY  - BOOK
AU  - Резвый, Р.Р.
AU  - Финарёв, М.С.
TI  - Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике
T2  - ..
VL  - Вып.4721977, Вып.7
PY  - 1977///
CY  - Б. м.
ER  -