TY  - BOOK
AU  - Верходанов, С.П.
AU  - Мясников, А.М.
TI  - Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии
T2  - ..
VL  - Вып.9431983, Вып.4
PY  - 1983///
CY  - Б. м.
ER  -