TY  - BOOK
AU  - Карацюба, А.П.
AU  - Тимашева, Т.П.
TI  - Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии
T2  - ..
VL  - Вып.10921985, Вып.1
PY  - 1985///
CY  - Б. м.
ER  -