TY  - BOOK
AU  - Бакун, А.В.
AU  - Щеглова, В.В.
TI  - Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов
T2  - ..
VL  - Вып.14741989, Вып.7
PY  - 1989///
CY  - Б. м.
ER  -