TY  - BOOK
AU  - Черепнин, Н.В.
TI  - Физические концепции механизма лазерного отжига имплантированных полупроводниковых структур
T2  - ..
VL  - Вып.7881981, Вып.8
PY  - 1981///
CY  - Б. м.
ER  -