TY  - BOOK
AU  - Степанов, В.В.
AU  - Сысоев, В.В.
TI  - Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов
T2  - ..
VL  - Вып.8451981, Вып.21
PY  - 1981///
CY  - Б. м.
ER  -