TY  - BOOK
AU  - Васильев, В.Ю.
AU  - Сухов, М.С.
TI  - Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении
T2  - ..
VL  - Вып.10871985, Вып.3
PY  - 1985///
CY  - Б. м.
ER  -