TY  - BOOK
AU  - Волков, С.С.
AU  - Толстогузов, А.Б.
TI  - Послойный анализ полупроводниковых материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии
T2  - ..
VL  - Вып.13341988, Вып.4
PY  - 1988///
CY  - Б. м.
ER  -