TY  - BOOK
AU  - Гуляев, Ю.В.
AU  - Яфаров, Р.К.
TI  - Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии
T2  - ..
VL  - Вып.14421989, Вып.7
PY  - 1989///
CY  - Б. м.
ER  -