TY  - BOOK
AU  - Беляева, Н.К.
AU  - Маштагова, А.И.
TI  - Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов
T2  - ..
VL  - Вып.8301981, Вып.12
PY  - 1981///
CY  - Б. м.
ER  -