01588nam1a2200337 i 4500 RU\NLR\bibl\367450 20260406043824.0 (NLR Aleph) 000362011 341729 341729 20030215g20029999k y0rusy50 ca rus RU ||||z ||||| Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов М-во образования РФ, Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского Н. Новгород Изд-во Нижегор. ун-та 2002 20 На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А. - д.х.н., проф., Скупов В.Д. - к.ф.-х.н. в производстве микроэлектроники 001365256 Полупроводники Примеси 1430236 RU\NLR\auth\66293244 Полупроводники Дефекты 2085321 RU\NLR\auth\661261436 З843.301 З843.308 070 rus ca Перевощиков В. А. Виктор Александрович RU\NLR\auth\773807 113799 070 rus ca Скупов В. Д. Владимир Дмитриевич RU\NLR\auth\773809 113801 RU NLR 20030215 PSBO RU NLR 20030215 Авт. по кн. NLR 2003-3/3192 BOOK