TY - BOOK AU - Перевощиков, В. А. AU - Скупов, В. Д. TI - Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках PY - 2002/// CY - Н. Новгород PB - Изд-во Нижегор. ун-та KW - Полупроводники KW - Примеси KW - RU\NLR\auth\66293244 KW - Дефекты KW - RU\NLR\auth\661261436 KW - З843.301 KW - З843.308 ER -