Москва20121016d2012 u y0rusy50 cacreatortextmonographicРез. на англ. яз.
Лазерная плазма
Взаимодействие с поверхностью
Математическое моделирование
2248747
RU\NLR\AUTH\6601579718
Интегральные схемы
Производство
Применение рентгенолитографии
RU\NLR\AUTH\66656586
1512279
авт. по кн20260408171917.0RU\NLR\bibl\1955884