TY  - BOOK
AU  - Ким, Д. А.
AU  - Новиков, В. Г.
AU  - Долголетова, Г. В.
TI  - Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики
T2  - Препринт
VL  - N° 51 за 2012 г.
PY  - 2012///
CY  - Москва
PB  - ИПМ
KW  - Лазерная плазма
KW  - Взаимодействие с поверхностью
KW  - Математическое моделирование
KW  - RU\NLR\AUTH\6601579718
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Применение рентгенолитографии
KW  - RU\NLR\AUTH\66656586
KW  - З844.15-06
N2  - Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.)
ER  -