TY  - BOOK
AU  - Gol'dštejn, R. V.
AU  - Gorodcov, V. A.
AU  - Šušpannikov, P. S.
TI  - The nanosize SiGe islands on Si(001) and Si(110) substrates. The mechanical behavior of the modern MOSFETs
PY  - 2009///
CY  - Б. м.
KW  - Кремний
KW  - Тонкие пленки
KW  - Механические свойства
KW  - RU\NLR\AUTH\661534609
KW  - Германий
KW  - RU\NLR\AUTH\661534608
KW  - З843.322.106.2
N2  - Библиогр.: с. 29-36 (64 назв.)
ER  -