TY - BOOK TI - [Электронно-физическая секция Твердотельная, вакуумная и плазменная электроника: физические процессы, технологии (включая нанотехнологию и наноматериалы), оборудование, приборы SN - 978-5-4673-2839-5 PY - 2012/// CY - Б. м. KW - Электроника твердотельная KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\auth\661081854 KW - Электровакуумные приборы KW - RU\NLR\auth\66697635 KW - Плазменная электроника KW - RU\NLR\auth\661370266 KW - Нанотехнологии KW - RU\NLR\auth\66830353 KW - З844.1я431(0) KW - З851я431(0) KW - Ж6я431(0) N2 - Библиогр. в конце ст ER -