TY  - BOOK
AU  - Григорьев, Ф. И.
TI  - Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники
SN  - 978-5-94506-200-9
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - Московский государственный институт электроники и математики
KW  - Полимеры
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Обработка ионно-плазменная
KW  - RU\NLR\auth\661511988
KW  - Применение в радиоэлектронике
KW  - RU\NLR\auth\66920483
KW  - З843.414.108я73-1
N2  - Библиогр.: с. 33 (8 назв.)
ER  -