TY  - BOOK
AU  - Вейко, В. П.
TI  - Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике
SN  - 9785757703879
PY  - 2012///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - НИУ ИТМО
KW  - Лазеры
KW  - Применение в микроэлектронике
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\66619079
KW  - З844.1-06-5я73-2
N2  - Библиогр.: с. 129
ER  -