TY  - BOOK
ED  - "Электровакуумная техника и технология", научно-технический семинар
TI  - [Заседание 26, 7 июня 2005 г.]
SN  - 5-7038-2760-4
PY  - 2006///
CY  - Б. м.
KW  - Тонкие пленки
KW  - Распыление
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661264879
KW  - З844.13-060.7я431
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -