TY - BOOK ED - Московский государственный инженерно-физический институт TI - Электроника, микро- и наноэлектроника SN - 5-7262-0294-5 PY - 1999/// CY - М. PB - МИФИ KW - Медицинские аппараты и приборы электронные KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr-sh1 KW - RU\NLR\auth\66718930 KW - Микроэлектроника KW - Сборники KW - RU\NLR\auth\661267605 KW - Нанотехнологии KW - nlr_sh1 KW - RU\NLR\auth\66830353 KW - Физический эксперимент KW - Аппараты и приборы KW - RU\NLR\auth\66509973 KW - Р.с5я43 KW - З844.1я43 KW - В3я43 N2 - Библиогр. в конце ст; Имен. указ. авт. ст.: с. 153-155 ER -