TY  - BOOK
AU  - Белянин, А. Ф.
ED  - "Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", международная научно-техническая конференция
ED  - "Тонкие пленки в электронике", международный симпозиум
ED  - "Наноинженерия", международная научно-техническая конференция
TI  - Высокие технологии в промышленности России
SN  - 9785902740186
PY  - 2012///
CY  - Москва
PB  - ЦНИТИ "Техномаш"
KW  - Тонкие пленки
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\6629231
KW  - Радиотехнические материалы
KW  - RU\NLR\auth\66331143
KW  - Электронные приборы
KW  - RU\NLR\auth\664069
KW  - функциональная электроника
KW  - микрофотоника
KW  - тонкие пленки в электронике
KW  - наноинженерия
KW  - З844.13я431(0)
KW  - З843.3я431(0)
KW  - З85я431(0)
N2  - Библиогр. в конце докл; Авт. указ.: с. 453-454
ER  -