TY  - BOOK
AU  - Красников, Г. Я.
AU  - Зайцев, Н. А.
TI  - Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
PY  - 1999///
CY  - М.
PB  - Микрон-Принт
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Качество
KW  - nlr-sh1
KW  - RU\NLR\auth\661301774
KW  - З844.15-021.1
ER  -