TY  - BOOK
AU  - Полистанский, Ю.Г.
TI  - Технология многослойных структур для микроэлектроники. Раздел: Технология тонокопленочных интегральных схем
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Моск. ин-т стали и сплавов
N2  - Библиогр.: с. 75
ER  -