TY  - BOOK
TI  - Распыление поверхности твердых тел
SN  - 9785317044473
PY  - 2013///
KW  - Твердые тела
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Распыление под воздействием ионизирующих излучений
KW  - RU\NLR\auth\661072644
KW  - Ионная технология
KW  - RU\NLR\auth\661330554
KW  - Ж614я73-1
N2  - Библиогр. в конце глав
ER  -