@book{4767256,
	author = {Ушаков, Н.Н.},
	title = {Оптимизация технологических процессов производства гибридных интегральных микросхем},
	publisher = {МАИ},
	year = {1983},
	address = {М.},
	note = {Авт. указаны на обороте тит. л.}
}