@book{4779373,
	author = {Гаврилов, Н.Н. and Хохлов, Б.А.},
	title = {Микроэлектронные устройства и их применение. Технология производства элементов микроэлектроники},
	publisher = {МИНХ},
	year = {1988},
	address = {М.}
}