TY  - BOOK
AU  - Гаврилов, Н.Н.
AU  - Хохлов, Б.А.
AU  - Хулап, Г.С.
TI  - Микроэлектронные устройства и их применение. Технология производства элементов микроэлектроники
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - МИНХ
N2  - Библиогр.: с. 76
ER  -