TY  - BOOK
AU  - Ткачев, В. Д.
TI  - Примесно-дефектный размерный эффект, энергетическая и химическая активность атомов инертных газов в полупроводниках
T2  - Препринт
VL  - № 24
PY  - 1984///
CY  - Минск
PB  - Ин-т тепло- и массообмена
N2  - Библиогр.: с. 41-43
ER  -